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第133章 减薄厚度150um


第133章  减薄厚度150um

        “咱们到车间去看看!”心中装着新项目,辛佟不敢有丝毫马虎。

        工程总监Peter在会议室里滔滔不绝谈论的都是一些大道理,辛佟觉得要把项目做好主要靠细节。

        细节决定成败!

        “好的!”姜华也将香烟熄灭了,扔进了烟灰缸,甩了甩一头茂盛的头发说道。

        从吸烟区回来,两个人径直来到了FOL生产车间的晶圆减薄作业区,这是整个封测工厂的第一道工序。

        从Fab厂生产出来的晶圆,通体泛射着银光,看上去跟一面圆镜一般,可以照射出人的样貌来。

        通常来说,晶圆太厚并不好,不利于芯片散热,而产品的可靠性通常都与热应力直接相关,减薄后的晶圆可以提升芯片的可靠性。

        正因为这样,一些容易产生热量的功率器件芯片,工程技术人员一直都在追求极致的薄。

        不过封测厂接收到的晶圆,其厚度都会超标,厚度太薄的话,随便震动一下都会碎了,不利于运输安全,因此减薄是封测工厂的第一道生产工序。

        辛佟走进去,发现这里是一个独立的洁净室,静悄悄的,好像世外桃源一般。

        减薄洁净室看上去面积差不多是键合车间的二十分之一,整个晶圆减薄研磨过程是在纯水中进行的,并不会产生可以耳闻的噪音。

        相比于键合车间里那些ASM键合机,日本DISCO减薄机的体型就大好几倍,显得更加大气磅礴。

        体型高大的减薄机旁边摆放着一排氮气柜,氮气柜有温湿度监控装置,也有氮气流量监控装置,在高纯度的氮气养护下,储存于其中的已经开封和减薄完的晶圆得以完好无损。

        不过这也是一笔不菲的开支。

        通常来说,从Fab厂生产出来的晶圆都是采用真空包装的,以避免焊盘受到潮气氧化,从经验来讲,晶圆的Floor  Life是一周时间,超过一周,焊盘存在氧化的风险,键合的质量就要大打折扣,储存于氮气柜中,可以延长晶圆的使用时间。

        虽然在FOL工程部已经工作了一年多了,辛佟却极少来这个洁净室,现在提拔为了项目经理,他就有机会接触到全工厂所有的生产工序。

        这也是他梦寐以求的事情。

        倒是姜华常来这边,自从提升为FOL生产主管之后,他的领地扩大了不少,从晶圆减薄到键合,这些工序都划归给了他管辖。

        这一道工序的工程技术是由贵为FOL四大天王的增长天王谢剑风负责。

        “辛经理!”谢剑风朝着辛佟点了点头。

        他正在减薄工序做目视化管理工作,看见辛佟走了进来,主动走过来打了一个招呼。

        “谢工,咱们这些设备的工艺能力是多少?”辛佟开门见山地问道。

        了解工序设备能力,才能知己知彼,百战百胜。

        “辛经理,8寸晶圆厚度是725um,目前我们Disco减薄机减薄之后的厚度可以达到180um。”谢剑风对设备工艺能力了如指掌。

        180um?辛佟看过MPC5200的工艺要求,客户的减薄厚度要求是150um。

        “摩托罗拉项目的规格要求是150um!下周客户指定的晶圆就要来了,咱们今天一定要讨论出一个可行的方案出来!”辛佟面有难色说道。

        还好自己下车间走了走,要是不了解设备的实际工艺能力,仓促上阵的话,这个项目一定会死得很惨!

        “谢工,如果Disco设备做不到的话,这个项目有可能就黄了!”姜华不无担忧。

        新项目的成败主要看工艺!

        “姜主管,不要这么悲观,我们工程部会想办法提升减薄设备能力的!”谢剑风一边说,一边拍了一下姜华的肩膀。

        180um是旧产品的技术要求,设备并没有生产过150um的晶圆,是驴子是马要拉出来溜溜才知道。

        “谢工,目前减薄机性能最稳定的是哪几台?”辛佟问道。

        利剑出销方能斩妖。要想做得薄,只能靠工厂最好的机台!

        “3号减薄机台!”谢剑风想了想,指着身边的一台设备回答道。

        “好的,这个项目的晶圆,我们今后就锁定在3号机台生产!”辛佟用手拍着3号减薄机,眼睛里充满了深情。

        “你放心好了!”姜华说道。

        “谢谢!”辛佟说道。

        虽然指定了专机生产,不过工艺验证的事情,辛佟觉得宜早不宜迟。

        “谢工,今天你们从仓库里领一些假片出来先做DOE验证!我们看看是否可以做到150um,客户的晶圆毕竟数量有限,直接用客户的晶圆做DOE验证,万一验证失败了怎么办?让客户重新发晶圆过来吗?这样我们整个项目周期至少要延后半个月。”辛佟脸上布满了阴云。

        通过锁定性能稳定的机台设备,提前安排假片验证,辛佟觉得这样可以降低项目的风险。

        很显然,没有下过基层的Peter对此毫无认知。

        “辛经理,好的!”谢剑风点了点头。

        安排好工作之后,辛佟感觉浑身轻松多了。

        “谢工,姜主管,我们一起去看看晶圆切割工序吧!”辛佟说道。

        “好的!”谢剑风点了点头。

        三人就出了减薄洁净室,朝着晶圆切割区域走去。

        今天来看,150um并不算什么了。


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